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Particularly, a scanning electron microscope with a focused ion beam (SEM/FIB) and a sub-micrometer X-ray tomograph were purchased. Additionally needed major equipment - including a nano X-ray tomograph and a transmission electron microscope – which are available at the TU and the cooperative research institutes, can be used for the research project. The project is granted with about 3.2 millions of Euros by the Federal Ministry for Education and Research. In October, three staff members - a postdoc, a PhD student and a technician - started their work. With this funding, the further development of DCN as a technological platform of cfaed and TU Dresden is supported.

In the project managed by Professor Ehrenfried Zschech, reliability-limiting degradation mechanisms in one-dimensional devices systems will be analyzed in order to establish a basis for process development and quality control of future microelectronic products.

Innovative electronic devices based on one-dimensional nanostructures like silicon nanowires and carbon nanotubes as well as nanoscale sensors are expected to have a much higher performance than current CMOS devices and sensor systems. Thus, new applications will become possible in the fields of automotive, mechanical engineering, logistics, energy, sensor technology as well as medical engineering and health monitoring. Through close collaboration with innovative companies, the research will be oriented toward an industrial use right from the start.

A public DCN Colloquium about Nanoanalysis takes place on December 2, 2013, 2-5pm, at SLUB Dresden, Zellescher Weg 18, 01069 Dresden.
Further Enquiries:

Prof. Dr. Ehrenfried Zschech

Honorary Professor Nanoanalysis

Dresden Center for Nanoanalysis (DCN)

+49 351 463 41093

ehrenfried.zschech@tu-dresden.de

Birgit Holthaus

cfaed press officer

+ 40 351 463 42848

Birgit.holthaus@tu-dresden.de

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Deutsche Version

Pressemitteilung Nr. 13

29. October 2013

Dresden Center for Nanoanalysis nimmt hochwertige Spezialmikroskope in Betrieb

DCN startet Projekt mit eindimensionalen Nanodrähten – Forschungsergebnisse werden in den cfaed- Pfaden „Silicon Nanowire“ und „Carbon“ ausgewertet

Das Dresden Center for Nanoanalysis nimmt Anfang Dezember zwei neue Spezial-Mikroskope in Betrieb und startet damit ein dreijähriges Projekt zur Erforschung von eindimensionaler Elektronik. Die Ergebnisse sollen in den Forschungspfaden „Silicon Nanowire“ und „Carbon“ des Center for Advancing Electronics Dresden (cfaed) der Technischen Universität (TU) Dresden ausgewertet werden. Für das Projekt wurden ein Rasterelektronenmikroskop mit fokussierendem Ionenstrahl und ein Sub-Mikrometer-Röntgentomograph angeschafft. Weitere benötigte Großgeräte, darunter ein Nano-Röntgentomograph und ein Transmissionselektronenmikroskop, welche schon innerhalb der TU und der kooperierenden Forschungsinstitute vorhanden sind, können für das Forschungsvorhaben genutzt werden. Das Projekt wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung mit rund 3,2 Millionen Euro gefördert. Im Oktober haben bereits drei Projektmitarbeiter - ein Post-Doc, ein Doktorand und ein Techniker - ihre Arbeit aufgenommen. Dieses Vorhaben unterstützt damit den weiteren Aufbau des DCN als technologische Plattform des cfaed und der TU Dresden.

Bei dem Projekt unter der Leitung von Professor Ehrenfried Zschech sollen zuverlässigkeits-limitierende Degradationsmechanismen in 1D-Elektronik-Bauelementen und -Systemen analysiert werden, um eine Basis zur Prozessentwicklung und zur Qualitätskontrolle bei der Herstellung künftiger mikroelektronischer Produkte zu schaffen. Auf dem Verständnis der festkörperphysikalischen Phänomene und Prozesse aufbauend, sollen Modelle entwickelt werden, mit deren Hilfe Schlussfolgerungen für Design, Prozesse und Materialien für neuartige mikroelektronische Bauelemente gezogen werden können. Damit soll eine wesentliche Voraussetzung für eine spätere industrielle Nutzung dieser Technologie geschaffen werden.

Es wird allgemein davon ausgegangen, dass die Leistungsfähigkeit der derzeitigen Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS, deutsch komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter)-Technologie in etwa zehn bis fünfzehn Jahren nicht mehr ausreichend ist. Im Exzellenzcluster „Center for Advancing Electronics Dresden“ der TU Dresden wird daher auf verschiedenen Wegen nach neuen Technologien geforscht, die die herkömmlichen siliziumbasierten Halbleitertechniken verbessern oder ergänzen könnten.

Die auf eindimensionalen Nanostrukturen wie Silizium-Nanodrähten und Kohlenstoff-Nanoröhren basierenden innovativen elektronische Bauelemente sowie nanobasierte Sensorik werden eine deutlich höhere Leistungsfähigkeit als derzeitige CMOS-Bauelemente und Sensorsysteme haben. Dadurch wird es möglich werden, neue Anwendungen zu erschließen, u. a. in den Bereichen Automobil, Maschinenbau, Logistik, Energie, Sensorik sowie Medizintechnik und Gesundheitsmonitoring. Durch enge Wechselwirkung mit innovativen Unternehmen soll die Forschung von Anfang an auf eine industrielle Nutzung ausgerichtet sein.

Ein öffentliches Nanoanalytik-Kolloquium des DCN findet am 2. Dezember 2013, 14 bis 17 Uhr, in der SLUB Dresden, Zellescher Weg 18, 01069 Dresden statt.  

Weitere Informationen:

Prof. Dr. Ehrenfried Zschech

Honorarprofessur Nanoanalytik

Dresden Center for Nanoanalysis (DCN)

+49 351 463 41093

ehrenfried.zschech@tu-dresden.de

Birgit Holthaus

Press Officer

Center for Advancing Electronics Dresden

+49 351 463 42848

birgit.holthaus@tu-dresden.de