EFRE-Projekt "MULTIFUNK" - Multidimensionale Analytik an neuen Funktionswerkstoffen

Projektlaufzeit: 22.12.2014 - 29.05.2015
Projektleiter: Prof. Ehrenfried Zschech
 
Das Vorhaben ist für das Dresden Center for Nanoanalysis (DCN) der TU Dresden ein Bestandteil langfristiger, strategischer Planungen auf dem Gebiet der Nanoanalytik am Standort Dresden – in enger Abstimmung mit dem Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA). Das DCN ist ein zentrales Analytikzentrum der TU Dresden, als gemeinsames Zentrum der natur- und ingenieurwissenschaftlichen Fakultäten. Es ist im Rahmen der Exzellenzinitiative gegründet worden und fungiert als Technologieplattform des Exzellenzclusters „Center for Advancing Electronics Dresden“ (cfaed).

Beide Nanoanalytik-Zentren stellen in abgestimmter Weise Infrastruktur zur Verfügung, mit dem Schwerpunkt der Grundlagenforschung an der TU Dresden und der angewandten Forschung und Entwicklung in den Fraunhofer-Instituten. Mit der Gründung des zentralen Analytikzentrums DCN auf dem Campus der TU Dresden wurde 2012 ein entscheidender Schritt zur weiteren Bündelung der im DRESDEN concept vorhandenen Kompetenzen getan. Das hier beantragte Gerätesystem soll im Bereich der Rasterelektronenmikroskopie – und der spezifischen Anwendung für die Untersuchung kinetischer Prozesse - den Standort Dresden erheblich stärken und unterstützt folgende Profillinien der TU Dresden: (i) Informationstechnologien und Mikroelektronik, (ii) Intelligente Werkstoffe und Strukturen, und (iii) Energie und Umwelt.

Die Anforderung an die moderne Werkstoffforschung, immer kleinere Strukturen mit immer detaillierteren Fragestellungen zu untersuchen, resultiert aus zahlreichen Branchen, wird aber für Funktionswerkstoffe insbesondere durch Forschungen für die Nanoelektronik bestimmt. Das Zeiss Gemini SEM500 erweitert die technische Infrastruktur der TU Dresden auf dem Gebiet der nano-skaligen Analyse von Materialien und Strukturen entscheidend. Das hoch auflösende Rasterelektronenmikroskop mit Zusatzgeräten zur Analyse lokaler mechanischer Eigenschaften, der Mikrostruktur und der chemischen Zusammensetzung von Materialien bildet die Basis für die kontinuierliche Weiterentwicklung der methodischen Kompetenz durch Wissenschaftler, Ingenieure und Techniker, für angewandte Fragestellungen aus den natur- und ingenieurwissenschaftlichen Fakultäten der TU Dresden sowie für Nutzer von außeruniversitären Institutionen. Die mit dem neuartigen Gerätesystem möglichen multi-parametraler Untersuchungen kinetischer Prozesse in nano-skaligen Materialien und Strukturen stellen einerseits ein hochaktuelles Forschungsgebiet dar und liefern andererseits notwendige Informationen zu Eigenschaften von Materialien und Strukturen sowie zur Zuverlässigkeit von Systemen, die in Elektronik, Energie- und Umwelttechnik sowie im Leichtbau Anwendung finden.

Zeiss Gemini SEM500 at DCN
  • 20V-30kV SEM with new NanoTwin lens sytem
  • Optimized for low kV operation (+sample biasing)
  • NanoVP mode for charging reduction with usable Column Detectors, VP operation up to 500Pa
  • 0.6nm resolution@15kV, 1.1nm@1kV
  • multiple detectors, including Zeiss-only EsB for low voltage backscatter imaging and STEM capabilities
  • New Oxford XMAX 150mm2 EDX and high resolution EBSD system for phase identification and strain mapping 

Das GEMINI®SEM500 wurde gefördert aus Mitteln der Europäischen Union (EFRE) und des Freistaates Sachsen.

Stand: 21.05.2015

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